半導体製造装置の設備保全(点検・保守・修理)
【1】日常的に各装置の動作状況確認(温度・圧力・流量・異音など)
異常のモニタリング(表示ランプ・エラー表示チェック)
チェックシート入力
消耗品(フィルター、パッキン等)の状態確認
・交換ドライバー、スパナ、トルクレンチ等を使用
【2】部品交換
・内部洗浄、工具・測定機器を使った機械の微調整
【3】装置の停止
・アラート発生時の原因特定と応急対応部品交換(センサー・ヒューズ・配線など)
【4】故障履歴の分析、故障原因の傾向把握、保全記録のPC入力など
【取扱製品情報】LSIとLEDLSI(大規模集積回路)、LED(発光ダイオード)
